機床運行時產生的熱（rè）量所（suǒ）造成的熱變形對加（jiā）工（gōng）精度會產生巨大的影響。超精密機床由於機床的總質量遠高於所切削的材料，而且單位（wèi）時間（jiān）的切削量少，因此隻需要維持（chí）機床所處環（huán）境的溫度恒定，即可避免（miǎn）熱變形的問（wèn）題。可是，高精度機（jī）床的使用條件是中（zhōng）批量和大批量生產，要求高（gāo）速（sù）度、大切削（xuē）量的加工，機床的工件、刀（dāo）具、絲杠、主軸等部（bù）件在加工過（guò）程中將產生可觀的熱量，必須在機床設計上加以周密考慮。 

        以DIXI公司的JIG係（xì）列（liè）坐標鏜床為例，為了控製（zhì）熱變形（xíng），在機床7處主要熱源設置了溫度控製點，同時在各個熱源都設計了獨立的冷卻循（xún）環回路並計算好各處熱源的發熱（rè）量。該機（jī）床溫度控製點的（de）分布如上圖所示。圖中的（de）控製點分（fèn）別是：（1）滾珠螺母；（2）絲杠軸承；（3）主軸軸承和電機；（4）B、C軸直接驅動電機；（5）電（diàn）氣櫃（guì）；（6）液壓係統；（7）冷卻循環係統。    在機床工作期間，冷卻液循環係統根據各個熱源的發熱量供應（yīng）比室溫低2°C的冷卻液。確保每各個循環回路都提供稍大於熱源發熱量的冷卻量，以保持機床的熱變（biàn）形在允許範（fàn）圍之內。由於刀具在切削過（guò）程（chéng）中的（de）熱變（biàn）形無法（fǎ）完全避免，機床的數控係統可以對刀（dāo）具引起的Z軸誤差作出補償。最後，必須指（zhǐ）出的是（shì），除了先進功能部件和技術以外，超精密機床的製造也離不開傳統工藝，裝配一台（tái）超精密機床需要高達數百小時的刮研工作量。