菲涅爾（ěr）反射鏡（jìng）

菲涅爾反射（shè）鏡 超精密加工（gōng） 目前公司已經形成下（xià）述生產加工能力： 超精密加工 實現了納米級機械（xiè）加工，其加工設備的定（dìng）位分辨（biàn）力達0.034nm。適於加工球麵、非球麵、菲涅爾反射鏡、天體望遠係統反射鏡和多麵（miàn）棱（léng）鏡等各種超精密元件以及各種透鏡的納米級表麵注塑模具（jù）。 自由曲（qǔ）麵加工 實（shí）現了自由曲麵的（de）超精密加工，成（chéng）功開發出複眼反射鏡、螺旋反射鏡、非球麵透鏡陣列、正弦曲麵陣列、微棱反射鏡等典（diǎn）型光學自由曲麵（miàn）元件，並具備相應的生（shēng）產能力。 脆性材料加工 實現了硬脆材料如玻璃、陶瓷、剛玉、硬質合金、鐵氧（yǎng）體等的複（fù）雜曲麵精密加工，可達到傳統（tǒng）加工方法難以滿（mǎn）足的工件技術要求（qiú），表麵粗糙度可達0.2μm。 聚焦離子束（FIB）加工 同步實現FIB加工和（hé）SEM（掃描電鏡）測量，具備納米加工-納米原型設計-2D/3D納米表征-納米分析（包括：3維重構、STEM分析、能譜分析等）能力,實現（xiàn）微（wēi）/納米元件（如三維微/納結構、微刀具、碳納米管器（qì）件等）的製備（bèi）和性能檢測。 微注塑成型加工 利（lì）用自主開發的微型模具，在精密注塑機上進（jìn）行高精度、複雜形狀元件（如：球麵及非球（qiú）麵（miàn）透鏡、自由曲麵光學元件、高深寬比微納器件、微（wēi）納結構陣列等）的微注（zhù）塑成型（xíng），可應用於光學領域微納核心關鍵件的成品製造。 微納測量 具備表麵輪廓、形貌、粗糙度測量與分析的能（néng）力，可對表麵起伏大、包含陡峭邊沿（傾斜角度可達90°）的非球麵光學鏡麵及模具實現全自動、高精度的（de）測量和分析。 利用以上的研發、生（shēng）產與加工服務能力，客戶已由國內企業、科研院所、大專院校拓展到美、日、德等微納製造技術發達地區。