微（wēi）針陣列 超精密加工

微針陣（zhèn）列 超精密加工 目前公司已經形成下述生產加工能力： 超精密加工 實現了納米級機械加工，其加工（gōng）設備的定位（wèi）分辨力達0.034nm。適（shì）於加工球麵、非球麵、菲涅爾反射鏡、天體望遠係統反射鏡和多麵棱（léng）鏡等各種超精密元件以及各種（zhǒng）透鏡的納米級表麵（miàn）注塑模具。 自由曲麵加工（gōng） 實現了自由曲麵的超精密加工，成功（gōng）開發出複眼反射鏡、螺旋（xuán）反射鏡、非球麵（miàn）透鏡陣列、正弦（xián）曲（qǔ）麵陣列、微棱反（fǎn）射鏡（jìng）等典型光學自由曲麵元（yuán）件，並具備相應（yīng）的生產能力。 脆性材料加工 實現了硬脆材料如玻璃（lí）、陶瓷、剛玉（yù）、硬質合金（jīn）、鐵氧體等的複雜曲麵精密加工（gōng），可達（dá）到傳統（tǒng）加工方法難以滿足的工件技術要求，表麵粗糙度可達0.2μm。 聚焦離子束（FIB）加工 同步實現FIB加工和SEM（掃描電鏡）測（cè）量，具備納米加工-納米原型設計-2D/3D納米表征-納米（mǐ）分析（包括：3維重（chóng）構、STEM分析、能譜分析（xī）等）能（néng）力,實現微/納米元件（jiàn）（如三維微/納結構（gòu）、微刀具、碳納米管器件等）的製（zhì）備（bèi）和性（xìng）能檢測（cè）。 微注塑成型加工 利用自主開發的微型模具，在（zài）精密注塑機上進行高精度、複雜形狀（zhuàng）元件（如：球麵及非（fēi）球麵透鏡、自由曲麵光學元件、高深寬比微納器件、微納（nà）結構陣（zhèn）列等）的微注塑成型（xíng），可應用於光學領域微納核（hé）心關鍵件（jiàn）的成（chéng）品製造。 微納測量 具備表麵輪廓、形貌（mào）、粗糙度（dù）測量與分析的能力，可對表麵起伏大、包含陡峭邊沿（傾斜角度可達90°）的非球麵光學（xué）鏡麵及（jí）模具實現全自動、高精度的測量和分（fèn）析。 利用以上的（de）研發（fā）、生產與加工服務能力，客戶已由國內企業、科研院所、大（dà）專院校（xiào）拓展到美、日、德等微納製造技術發達地區。