性價比高高真空擴散泵

擴散（sàn）泵主要泵體、擴（kuò）散噴嘴、蒸汽（qì）導管、油鍋、加熱器、擴（kuò）散（sàn）器、冷卻係統和噴射噴嘴等部分（fèn）組成（見圖）。當油擴散泵（bèng）用（yòng）前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋可開（kāi）始加熱，沸騰時噴嘴噴出（chū）高速的蒸汽流，熱運動的氣體分子擴散到（dào）蒸汽（qì）流中，與（yǔ）定向運動的油蒸汽分子碰撞，氣體分子因此而獲得動力量（liàng），產生和油蒸（zhēng）汽分子運動方向相同的定向流動，到前級（jí），油蒸汽被冷（lěng）凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽氣目（mù）的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性（xìng）能，但油擴散泵（bèng）所使用的任何泵油，都是蒸汽壓不同的多組分的混（hún）合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還（hái）要對泵油進（jìn）行分餾和淨化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油不進入高真空工作噴嘴（高真空端（duān）的噴嘴（zuǐ））；淨化的是使（shǐ）高蒸汽壓組分的油在工作過（guò）程中不斷為前級泵所抽除、使油（yóu）逐（zhú）漸於純淨。