質量保（bǎo）證高真空擴散泵

擴散泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸（zhēng）汽導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻係統（tǒng）和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當油擴散泵用前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋可開始加熱，沸（fèi）騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流，熱運動的氣（qì）體分（fèn）子擴散到蒸汽流中（zhōng），與定向運動的油蒸汽分子碰撞，氣（qì）體分子因此而獲得動力量，產生和油蒸汽分子運動方向相同的定向流動，到前級，油蒸汽被冷凝，釋出氣體分（fèn）子，即被前級泵抽走而達到抽氣目的。泵油的（de）蒸氣壓（yā）直接影響泵的真（zhēn）空性能，但油擴散泵所使用的（de）任何泵油，都是蒸汽壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和（hé）真空性能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和（hé）淨化。分餾目的是使（shǐ）高蒸汽壓組分的油不進入高真空工作噴嘴（高（gāo）真空端的噴嘴）；淨化的是使高（gāo）蒸汽壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐（zhú）漸於純淨。