先進的 高（gāo）真空擴散泵

擴（kuò）散泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽（qì）導管、油鍋、加熱器、擴散器（qì）、冷卻係統和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當油擴散泵用前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋（guō）可開始加熱，沸騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流，熱運動的氣體分子擴（kuò）散到蒸汽流（liú）中（zhōng），與定向運動的油蒸汽分子碰撞，氣（qì）體分子因此（cǐ）而獲得動（dòng）力量，產生和油蒸汽分子運動方向相同的定向流動（dòng），到前級，油蒸汽被冷凝（níng），釋出氣體分子（zǐ），即被前級泵抽走而達到抽氣目（mù）的。泵油的蒸（zhēng）氣壓直接影響泵的真空性能，但油擴散（sàn）泵所使用（yòng）的任何泵油，都是蒸汽壓不同的多組（zǔ）分（fèn）的混合物。因此，要提（tí）高油擴（kuò）散泵的抽氣和真空（kōng）性能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和淨（jìng）化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油不進入高（gāo）真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；淨（jìng）化的是使（shǐ）高（gāo）蒸汽壓組分的油在（zài）工作過程中（zhōng）不斷為（wéi）前級泵所抽除、使油逐漸於純淨。