益（yì）豐優質的高真空擴散泵

擴散（sàn）泵主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽導管、油鍋、加熱器、擴散器、冷（lěng）卻係統（tǒng）和噴射噴（pēn）嘴等部分組成（見圖）。當（dāng）油擴散泵用前（qián）級泵預抽到（dào）低於（yú）1帕真空時，油鍋可開始加熱，沸騰時噴嘴噴出高速的蒸汽流，熱運動的氣體分子擴散到蒸（zhēng）汽流中，與定向運動的油蒸汽分子碰撞，氣體分（fèn）子因此而獲得動力量，產生和油蒸汽分（fèn）子運動方向相（xiàng）同的定向流動，到前級，油蒸汽被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽（chōu）氣目的。泵（bèng）油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能，但油擴散泵所使（shǐ）用的任何泵油，都是蒸汽壓不同的（de）多組（zǔ）分的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空（kōng）性（xìng）能，泵在工作中自身還要對泵油進行分餾和淨化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油不進入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴（zuǐ））；淨化的是使高蒸汽壓組分的油在工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐漸（jiàn）於（yú）純淨。