高真空擴（kuò）散泵的工作（zuò）原理

擴散泵主要泵體、擴（kuò）散噴嘴、蒸汽導（dǎo）管、油鍋、加熱器、擴散器、冷卻係統和噴射噴嘴等部分（fèn）組成（chéng）（見（jiàn）圖）。當（dāng）油擴散泵用前級泵預抽到低（dī）於1帕真空時（shí），油鍋可開始加熱（rè），沸騰時噴嘴噴（pēn）出高速的蒸汽流，熱運動的氣體分子擴散到蒸汽流中（zhōng），與定向運動（dòng）的油蒸汽分子碰撞，氣體分子因此而獲得動力量，產生和油蒸汽分子運動方（fāng）向相同的定向流動，到前級，油蒸汽被冷凝，釋出氣體分子，即（jí）被前級泵抽走而達到抽氣目的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性（xìng）能，但油（yóu）擴散泵所（suǒ）使用的任何泵油，都是蒸汽壓不（bú）同的多組分（fèn）的混合物。因此，要提高油擴散泵的抽氣和真空性能，泵（bèng）在工（gōng）作中自身還要對（duì）泵油進行分餾和淨化。分餾目的是使高蒸汽壓組分的油（yóu）不進入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；淨化的是使高蒸汽壓組分的油在工作過程中（zhōng）不斷（duàn）為前級泵所抽除、使油（yóu）逐漸於純淨（jìng）。