美國AALBORG氣（qì）體質量流量計

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上海（hǎi）智鳶機（jī）電設備有限公司
2013-10-15 15:51:54.0
美國
齊全
麵議
11

【詳細說明】

AALBORG氣體質量流量計美國AALBORG控製器 AALBORG控製器代理 AALBORG控製器廠家AALBORG控製器（qì）現貨 AALBORG控製器價格 AALBORG控製器型號上海智鳶（yuān）機電設備有限公司優價銷售美國Aalborg, Aalborg氣體質量流量計, Aalborg控製器美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立於1972年，是世界上著名的氣體質量流（liú）量計/控製器的生產廠家，其產品廣泛用於微電子工藝（yì）、真空鍍膜、材（cái）料科（kē）學、石油化工、醫藥、環保等領域（yù）。產品特點（diǎn）：性價比高、響應速度快、可靠性高，易（yì）於集成、環路保護、備總量計數器（qì）典型應（yīng）用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入（rù）、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表麵處理等鍍（dù）膜工藝。設計特點：
－剛（gāng）性金屬結構
－流程範圍從（cóng）0開始到10sccm直到0到1000slpm
－最（zuì）大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST係統標定可追蹤的（de）證明
－可傾斜的LCD讀（dú）表
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出
－電路保護
－可用作便（biàn）攜（xié）式（shì）的設備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計算機

精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到（dào）25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度），在給（gěi）定的溫度與（yǔ）壓力值條件下。
重複性：±0.5％滿量程
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度（dù）係數：0.15％滿量程／℃
壓力（lì）係數：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路（lù）電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；最大200Ω。＋24Vdc可選
時間恒量：800ms

氣體壓力：最大1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar）
流體接觸麵材質：A：GFC鋁係列為陽極電鍍鋁、316不鏽鋼、銅和氟橡膠圓環
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不（bú）鏽鋼係列：316不鏽鋼、氟橡膠圓環（huán）可選（xuǎn）氯丁橡膠圓環。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉（zhuǎn）低於15度；標準校準是在水平（píng）位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡（kǎ）套（tào）可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺（luó）紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）美國AALBORG控製器 AALBORG控製器代理 AALBORG控製器廠家AALBORG控製器現貨 AALBORG控製器價格 AALBORG控製器型號

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