河北益豐高真空擴散泵

擴散泵（bèng）主要泵體、擴散噴嘴、蒸汽（qì）導管、油鍋、加熱（rè）器、擴散器、冷卻係統和（hé）噴射噴（pēn）嘴等部分組成（見圖）。當油擴（kuò）散泵用前級泵預抽到低於1帕真空時，油鍋可開始加（jiā）熱，沸騰時噴嘴噴（pēn）出高速的蒸汽流，熱運動的氣體分子擴散到（dào）蒸汽流中，與定向運（yùn）動的油蒸汽分子碰撞，氣體分（fèn）子因此而獲得動力量，產生和油蒸汽分子運動方向相同（tóng）的定向流動，到前（qián）級，油（yóu）蒸汽被冷凝，釋出氣體分子，即被前級泵抽走而達到抽（chōu）氣目的。泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能，但油擴散泵（bèng）所使用的任何泵油，都是蒸汽壓不同的多（duō）組分的（de）混合物。因此，要提高油（yóu）擴散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中（zhōng）自身還要對泵油進行分餾和淨化。分餾（liú）目的是（shì）使高蒸汽壓組分的油（yóu）不進入高真空工作噴嘴（zuǐ）（高（gāo）真空端的噴（pēn）嘴）；淨化的是使高蒸汽壓組分的油在（zài）工作過程中不斷為前級泵所抽除、使油逐漸於純淨。