中（zhōng）圖儀器SJ6000激光幹涉（shè）儀

激光幹（gàn）涉儀可對機床、三測機（jī）及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，並可完成按標準測量各項參數，如線形位置精度、重複定位精度、角度、直線度、垂直度、平（píng）麵度及平行度等。另外（wài），它還（hái）具有（yǒu）若幹為機床廠商和（hé）用戶所歡（huān）迎（yíng）的選（xuǎn）擇功能，如自動螺距（jù）誤差補償（適用大多數控係統），機床動態特性測量與評估，回轉坐標分度精度標定，觸（chù）發脈衝輸入（rù）、輸（shū）出功能等（děng）。

中圖（tú）儀器SJ6000激光幹涉（shè）儀采用進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鍾)、高精度（dù）(0.05ppm)、抗幹擾能（néng）力強、長（zhǎng）期穩定性（xìng）好的激光輸（shū）出；采用高精度環境補償（cháng）模塊、高精度激光幹涉信號（hào）處理係統、高（gāo）性（xìng）能計算機控製係統技（jì）術，結合線性鏡組能實現（xiàn）0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡（jìng）組還能實現角度、直線度（平行（háng）度）、平麵度、垂直度、回轉軸等參（cān）數的測量，並進（jìn）行動態分（fèn）析（xī）。

中（zhōng）圖儀器SJ6000激光幹涉儀性能特點：

1.測量精度高（gāo）、速度快，穩定性好

①使用高性能氦氖激（jī）光器，結合伺服穩頻控製係統，達到高精（jīng）度穩頻（pín）(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理（lǐ）技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償單元，在環境（jìng）變（biàn）化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式幹涉鏡設計，避免了測量鏡（jìng）組（zǔ）由於主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用（yòng）範（fàn）圍廣

①可以實現線性、角度、直（zhí）線度、垂直度、平麵度等幾何量的檢測

②結合我們的軟件係統（tǒng），可以用於速度，加速度，振動分（fèn）析以（yǐ）及穩定度等分析

③可實時監控精密（mì）加工機床等機器的動態（tài）數（shù）據，進行動態特性分析（xī）

3.軟件界麵友好

①使用當前熱門的軟件界麵開發工具，軟件界麵人性化，操作簡（jiǎn）單（dān）。

②將靜態測量和動態測量兩種功能合並到一（yī）個軟件中（zhōng），更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更（gèng）符合國內用戶的使用習慣。

4 性價比高

性能達到了（le）國外儀器的水準（zhǔn），價格是國內儀器的良心價。

中圖儀器SJ6000激光幹涉儀（yí）技術參數：

      係統性（xìng）能

²    測量方式：單頻

²    穩頻精（jīng）度：0.05ppm

²    動態采集頻率：50 kHz

²    預熱時間：約6分鍾

²    工（gōng）作溫（wēn）度範圍：(0~40)℃

²    環境溫（wēn）度範圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH

²    存儲溫度範（fàn）圍（wéi）：(-20~70)℃

      環（huán）境補償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨（biàn）力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線性（xìng）測量

²    測量距離：(0~40)m

²    測量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測量分辨力：1nm

²    測量最大速度：4m/s

      角度測量

²    軸（zhóu）向量程：(0~15)m

²    測量範圍（wéi）：±10°

²    測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測量（liàng）分辨力：0.1″

      平麵度測量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測量範圍（wéi）：±1.5 mm

²    測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分（fèn）辨力：0.1μm

      直線度測量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測量（liàng）範圍：±3mm

²    測（cè）量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

²    測量分辨力：0.01μm

      垂直度測量

²    軸（zhóu）向量程：(0.1~3.0)m

測量範圍：±3mm

²    測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為（wéi）測量距離，單位（wèi）：m)

²    測（cè）量分辨（biàn）力（lì）：0.01μm/m

      回轉軸精度測量

²    角度測量範（fàn）圍：(0~360)°

²    測量精（jīng）度：±1″

最高轉速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數據（jù）。

中圖（tú）儀器SJ6000激光幹涉儀使用注意事（shì）項：

  •  (1)避免現場與儀器箱內溫差較大時，直接開箱使用；

  •  (2)運（yùn）輸、使用中避免劇烈碰撞；

  •  (3)儀器線纜要防（fáng）止碾、壓，線纜接口防止變形；

  •  (4)多塵的環境中，要注意光學鏡組放塵，測量間隙較長時（shí），注意將激光（guāng）光閘關（guān）閉，防止灰塵進（jìn）入激（jī）光器；

  •  (5)清洗光學鏡組要使用高（gāo）質量的擦拭紙、清洗液。