中圖儀器激光幹（gàn）涉儀

一.中圖儀器激光（guāng）幹涉儀簡介

激光具有高強度、高度方向（xiàng）性（xìng）、空間同調性、窄帶寬和高（gāo）度單色性等優點，激光幹涉儀（yí），則是以激光波（bō）長為已知長度，利用邁克（kè）耳遜幹涉係統測量位移的通用長度測（cè）量。激光幹涉儀是激光在計量領域中成功的應用之一

二（èr）.中圖儀器（qì）激光幹涉儀性能特點

1.測量精度高、速度（dù）快（kuài），穩定性好 

①使用高性能（néng）氦氖激光器，結合伺（sì）服穩頻控製（zhì）係統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以（yǐ）光波長(633nm)為（wéi）測量單位，分辨率可達nm級

③使用高（gāo）速光電信號采樣和處理技術，測（cè）量速度（dù）可達到4m/s。

④配合有環（huán）境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式幹涉鏡設計，避（bì）免了測量鏡組由於主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用範（fàn）圍廣

①可以實（shí）現線性（xìng）、角度、直線度、垂（chuí）直（zhí）度、平麵度等幾何（hé）量（liàng）的檢測

②結合我（wǒ）們的軟件係統，可以用於速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③可實時監控精密加工機床等（děng）機器的動態數據，進（jìn）行動態特（tè）性分析

3.軟件界（jiè）麵友（yǒu）好 

①使用當前熱門的軟件界麵開發工（gōng）具，軟件界麵人（rén）性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩種功能（néng）合並到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符（fú）合國內用戶的使用（yòng）習慣。 

4 性（xìng）價比高

性能達到了國外儀器的水（shuǐ）準，價格是國內儀器的良心價（jià）。

三.中圖儀（yí）器（qì）激光幹涉儀應用

1. 位移傳感器

 激光幹（gàn）涉儀在位移傳感器（qì）檢定中的應用已（yǐ）成為一大發展趨勢，其特點是測量精度快、反應速度快、易於數字化測量。在（zài）測量中設計一個精密導軌，將反射鏡（jìng）同被測傳感（gǎn）器放在一起同步檢測，從而形成對比，位（wèi）移傳感器自動檢定係統與HP幹涉儀（yí）對定位移進行測試（shì）對比，得（dé）出往（wǎng）複測試實驗結果。

2. 數控機床檢定中的應用

隨著數控機（jī）床（chuáng）應用的普及，采用激光幹涉儀對（duì）數控機床進（jìn）行定位精（jīng）度檢測已經成（chéng）為目前公認的高效、高精度的檢（jiǎn）測方法。激光幹（gàn）涉儀可用於精（jīng）密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控製，其（qí）中雙頻（pín）激光幹涉儀應用最多。與（yǔ）傳統的檢定方法相比，激光幹涉儀具有較高的精度和效率，並能及時處（chù）理數據，為機床（chuáng）誤差修（xiū）正提供依據，位置精度是機床（chuáng）的重要指標，目前各國機床檢（jiǎn）定標（biāo）準中都推薦使用激光幹涉儀。雙頻激光幹涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手（shǒu）段難以實現和替代的（de）。

未來（lái），激光幹涉儀可從光源、探測器、信號處理係統、光學係統等方麵進行發展，從測量數（shù）據的可靠性、精（jīng）que性，以及測量（liàng）儀器的便攜性等，不斷改善激光幹涉儀的各項性能。

四.中圖儀器激光幹涉儀原理

一個角錐反（fǎn）射鏡緊（jǐn）緊固定（dìng）在分（fèn）光鏡上，形成固定長度參（cān）考光束。另一個角（jiǎo）錐反射鏡相對於分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

從激光頭射出的激（jī）光光束(1)具有單一頻率，標稱波長為0.633μm，長（zhǎng）期波長（zhǎng）穩定性（xìng）（真空中）優於0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩束（shù）光—反射（shè）光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反（fǎn）射鏡中，然後反射回分光鏡中，在嵌於激（jī）光頭中的探（tàn）測器中形（xíng）成幹涉光束（shù）。

如果兩光程差不變化，探（tàn）測器將在相長幹涉和相消幹（gàn）涉的兩端之間的某個位置觀察到一個穩定的信號。如（rú）果兩光程差發生變化，每次光路變化時（shí）探測器都能觀（guān）察到相長幹涉和相消（xiāo）幹涉（shè）兩端之間的信號變化。這些（xiē）變化（條紋）被數出來，用於計算兩光（guāng）程差（chà）的變化。測量（liàng）的長度等於條紋數（shù）乘以（yǐ）激光波長的一半。

應當注（zhù）意到，激光（guāng）波長將取決於光束經過的空氣的折射率。由於空氣折射率會（huì）隨（suí）著氣（qì）溫、壓力和相對（duì）濕度的變化而變化，用於計算測量值的波（bō）長值（zhí）可（kě）能需（xū）要對這些環境參數的（de）變化進行補償。在實踐中，對於技術指標中的測量精度（dù），隻有線（xiàn）性位移（定位精度（dù））測量需要進行此類補償，在這種情況下兩束光（guāng）的光程差變化可能非常（cháng）大。

五.中圖儀器激光幹涉儀技術參數：

      係統性（xìng）能

    測量方式：單頻

    穩頻精度（dù）：0.05ppm

    動態采集頻率：50 kHz

    預（yù）熱時間：約6分鍾

    工作溫度範圍：0~40℃

    環境溫（wēn）度範圍：0~40℃，環境濕度：0~95%

    存儲溫度範圍（wéi）：-20℃~70℃

      環境補償示（shì）值誤差（chà）

    空氣溫度傳（chuán）感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨（biàn）率（lǜ）0.01℃

    材料溫（wēn）度傳感（gǎn）器（qì）：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

    空（kōng）氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

    大氣壓力傳（chuán）感器：±0.1kPa

      線性測量

    測量距離：0-40m

    測量精度（dù）：0.5ppm (0-40℃)

    測量分辨率（lǜ）：1nm

    測量最da速度：4m/s

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