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納米光柵 聚焦離子束加（jiā）工
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- 天津微納製造技術有限公司
- 2013-07-29 14:52:58.0
- 全國
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【詳細說明】
聚焦離子束（FIB）加工
同步實現FIB加工和SEM（掃描電鏡）測量，具（jù）備納（nà）米加工-納米原型設計（jì）-2D/3D納米表征-納米分析（包括：3維重構、STEM分析、能（néng）譜分（fèn）析（xī）等）能力,實現微/納米元件（如三（sān）維微/納（nà）結構、微（wēi）刀（dāo）具、碳納米管器件等）的製備和性能檢測。