傳統的粗（cū）糙度評定為二維（wéi）參數評定，評定的時候在一條（tiáo）線上進行評定，不能夠完整地反映整個表麵的（de）全部（bù）信息（xī），越來越不能滿足（zú）加工行業的發展需要（yào）。表麵形貌的三維評定方法是利用區域表麵獲得所需要的相關信息，給出（chū）表麵形（xíng）成機（jī）理信息（xī）和研究表麵的（de）直觀圖像，三（sān）維評定從整體上對零件表（biǎo）麵特征進行描述，具有全局性。

　　三維表麵粗糙度參（cān）數有很多，今天介紹第一個參數（shù）Sa。

定義：

　　Sa為表麵算術平均高度，指輪廓（kuò）表麵內的點與中心麵距離的算術平均或幾何平均值（zhí），在取（qǔ）樣區域 D 上，被測量（liàng）的輪廓麵和建立的基準麵之間的 z 坐標距離的（de）算術平均，即表麵粗糙度曲麵方程（chéng） z 坐標絕對值的算術（shù）平（píng）均。數學表達式（shì）為

應用（yòng）：

　　Sa常用來描述精密加工表麵粗糙度，可以有效地檢測整個區域的高度特（tè）征以（yǐ）便控製加工工藝的製（zhì）定。對不同的（de）加工工藝方法，其Sa值變化明顯。

晶圓表麵粗糙度評定，數據由中圖儀器SuperView W1光學3D表麵輪廓儀測量得出

曆史：

　　2005 年，在ISO/TC213的最新標準草（cǎo）案ISO/TC213N756中對表麵三（sān）維表征（zhēng）參數進行了詳（xiáng）細分類，主要分為功能參數、幅度參數、空間參數、綜合參數（shù）、體積參數共5大類23個參數，在幅度參數中就包括（kuò）Sa。

　　2012年4月1日，國際標準化組織正式頒布《ISO 25178-2-2012 產品幾何量技術規範(GPS)--表麵結構：區域--第2部分（fèn）：術語、定義和表麵結構參數》，對Sa進行了確認。