低溫（wēn）等（děng）離子體是繼固態、液態、氣態之後的物質的第四態，當外加電壓達到（dào）氣（qì）體的著火（huǒ）電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種（zhǒng）離子、原子和自由基在內（nèi）的混合（hé）體。放電過（guò）程中雖然電子溫度很（hěn）高，但重粒子溫度很低，整個體係呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子（zǐ）體。低溫等（děng）離子體降解汙染物是利用這些高能電子、自由基等活性（xìng）粒子（zǐ）和廢氣中的汙染物作用，使汙（wū）染物分子在極短的時間內發（fā）生（shēng）分解，並發生後（hòu）續的（de）各種反應以達到分（fèn）解汙染物（wù）的目的。

 低溫等離子體工業廢氣處理成（chéng）套設備和技術作為一（yī）種新型的氣（qì）態汙染（rǎn）物的治理技術（shù）是一個集物理學、化學、生（shēng）物學（xué）和環境科學於一體的（de）交叉綜合性電子化學技術，由於能很容易使汙染物分子高效分解且處理能耗低（dī）等特（tè）點，是目前國內外大氣汙染治理中最富有前景、最行之有（yǒu）效的技術方法之（zhī）一，其使用和推廣前（qián）景廣闊，為工業領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。

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