近日，我國自主研製（zhì）的C919大（dà）型客機下（xià）線，這是中國自主研製（zhì）大飛機的裏程碑，也是中國高端製造業的突破性進展！產業發（fā）展和升級使得微電子、微機械、光學和（hé）現代超（chāo）精密加工（gōng）工業對檢測精（jīng）度的要求越來（lái）越高，同時要求更大（dà）的檢（jiǎn）測（cè）量程，而其他檢測方（fāng）法難以（yǐ）勝任，隻有激（jī）光幹（gàn）涉檢測技術可以在大量程內達（dá）到較高的測量精度，所以在高端製造領域得到廣（guǎng）泛應用。

在航（háng）空器的研製、試驗、生產過程中，運用到大量的精密直線位移傳（chuán）感器，激光幹涉儀可以對這些傳感器（qì）進行精（jīng）準的檢測

中圖儀器推出的（de）SJ6000激光幹涉儀，采用進口高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技（jì）術、多參數環境補償技（jì）術、高速（sù）數字信號處理係統等（děng）技（jì）術，通過與不同的（de）光學組件結合，實（shí）現（xiàn）對直線度、垂直度、角度、平麵度、平行度等多種幾何精度的測量。是校準數控機床、三（sān）坐標測量機及其它定位裝置精度及線（xiàn）性指標（biāo）最常用（yòng）的標準儀器（qì）。

1、在數控機床（chuáng）檢定中的應用

SJ6000激光幹涉儀可用於精密機床定（dìng）位精度、重複定位精度、微量位（wèi）移精度的測量，為機床誤差修（xiū）正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標（biāo）準。使用激光幹涉儀檢測機床各項誤差並（bìng）進行修正是傳統測量手段難以實現的技術，是大幅度提高數控機床的加工精度的關鍵措施。

數控機床軸定位精（jīng）度（dù）、重複定位精度的檢測（cè）

2、在（zài）三坐標檢測中的（de）應用

SJ6000激光（guāng）幹涉儀（yí）搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直（zhí）線度、垂直度。隨著當（dāng）代製造業（yè）對加工（gōng）速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由於（yú）高（gāo）速運行產生機構變形，導致的動態誤差不可忽略（luè）。使用激光幹涉儀對三坐標測量機進行靜態誤差、動（dòng）態誤差測量（liàng）和補償，對提升測量精度具有重要意義。

三坐標線性精度、垂直度（dù）的檢測

3、在位移傳感器中的應用

利用激（jī）光幹涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢，其特點是反應（yīng）速度快、測（cè）量精度高，是位移傳（chuán）感器實現高精（jīng）度（dù）校準的重要手段。

傳感器線性精度的測量

4、與（yǔ）其他鏡組配合的應用

SJ6000激光幹涉儀與不同光學組件結（jié）合，可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平麵度等參數的測量，具有極高的精度和效率。

測長機線（xiàn）性（xìng）精度、垂直度的測量

工業機器（qì）人標定

汽車裝配與（yǔ）夾具定位

SJ6000激（jī）光幹涉儀技（jì）術參數（shù）：

技術線性測長精度（dù）：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um